二級(jí)型濺射離子泵在排除氬、氪和氙等惰性氣體時(shí),經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)氬壓力循環(huán)上升的現(xiàn)象，即真空系統(tǒng)內(nèi)德壓力突然脈沖式的上升然
后又下降，壓力變化幅度為10-2Pa數(shù)量級(jí)。這種現(xiàn)象稱為“氬不穩(wěn)定性”。給出了二級(jí)型噴濺離子泵在空氣壓力為10-3Pa時(shí)進(jìn)行數(shù)
百小時(shí)或在10-4Pa時(shí)進(jìn)行數(shù)千小時(shí)排氣后所出現(xiàn)的氬不穩(wěn)定性。為克服這種現(xiàn)象，出現(xiàn)了各種改進(jìn)型的濺射離子泵的幾種改進(jìn)型結(jié)
構(gòu)：
1）二極型泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，磁鐵的磁隙小，只是啟動(dòng)壓力低。如果不是在高壓力下啟動(dòng)而且對(duì)惰性氣體抽速無特殊要求，還是選用這種
泵好。
2）如果要求啟動(dòng)壓力高，可以采用三極型結(jié)構(gòu)，或采用其他輔助辦法。三極型結(jié)構(gòu)工藝復(fù)雜，如果是三電位，電源也復(fù)雜。
磁鐵的磁隙也大了。
3）如果為了抽除氬、氦，可以采用多孔型陰極。但在鉭板上打孔麻煩。從工藝上考慮，可以采用非對(duì)稱型陰極。要從材料上考慮可
以采用二電位三極型。
4）磁控管型和端子板型都是為了提高對(duì)氬的抽速。放電強(qiáng)度、濺射能力都提高了，但工藝上困難較大。
5）幾種泵對(duì)各種氣體抽氣
能力相差較大，可按具體情況選用。
|
