由于電真空結構材料除機械性能和加工性能外，還要滿足其它性能的要求:容易除氣、低的飽和蒸氣壓、一定的化學穩(wěn)定性、一定的純度和清潔度，要有合適的輻射能力、溫度性質和光學性質等。所以電真空工藝具有特殊性，對清潔處理要求是嚴格的，應最大限度清除或減少零件的污染。
電子管的生產、管子的裝架和零件處理必須在封閉良好的房間里進行。房間里的墻壁和天花板都用高質量的半光澤的韌性油漆涂覆。地面用干凈且打上蠟的瀝青合成物或磨砂瓷磚鋪蓋。空氣必須經(jīng)過兩級或多級過濾。相對濕度保持在50%以下。

在進行精密裝架的房間里，人員往來應盡可能少。零件和其它用品通過滑動櫥門送人。精密裝架的房間與空調的大房間隔開。里屋的空氣要進一步過濾。除空調器和過濾器開口外，墻壁、地板、天花板以及門必須盡可能封閉嚴實。墻上灰泥、建筑板、木板以及水泥等建筑材料都均勻地涂上光澤的或半光澤的高級油漆。

對于有特殊要求的工作，要用干燥箱來防止用其它方法未能阻擋的沾污物(操作者的呼吸物、頭皮等)。當需要時，如在處理待激活的陰極表面時，干燥箱也只能使用特定的惰性氣體。

為適合集成電路工藝生產的需要，生產車間應達到相應的潔凈室等級標準。