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1、真空泵的極限壓強(qiáng)
泵的極限壓強(qiáng)單位是Pa，是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓強(qiáng)。
2、真空泵的抽氣速率
泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件工作時，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩指定位置測得的平衡壓強(qiáng)之比。簡稱泵的抽速。
3、真空泵的抽氣量
真空泵的抽氣量單位是Pam3/s或Pal/s。是指泵入口的氣體流量。
4、真空泵的起動壓強(qiáng)
真空泵的起動壓強(qiáng)單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用時的壓強(qiáng)。
5、泵的前級壓強(qiáng)
真空泵的前級壓強(qiáng)單位是Pa，它是指排氣壓強(qiáng)低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。
6、真空泵的最大前級壓強(qiáng)
真空泵口最大前級壓強(qiáng)單位是Pa，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強(qiáng)。
7、真空泵的最大工作壓強(qiáng)
真空泵的最大工作壓強(qiáng)單位是Pa，它是指對應(yīng)最大抽氣量的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
8、壓縮比
壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比。
9、何氏系數(shù)
泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速與該處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
10、抽速系數(shù)
泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
11、返流率
泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規(guī)定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。
12、水蒸氣允許量
水蒸氣的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
13、最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)
最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)單位是Pa。它是指在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強(qiáng)。
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